1.技术适用范围

适用于石化化工行业高纯晶硅生产工艺节能技术改造。

2.技术原理及工艺

硅粉与还原副产四氯化硅、氯化氢以及氢气通过冷氢化反应器生成三氯氢硅和少量二氯二氢硅，反应后混合气体经过热量回收，除尘和冷凝系统分离得到氢气和氯硅烷混合液，氢气回系统重新参与反应，混合液则用精馏方法分离出高纯度三氯氢硅，四氯化硅经过提纯返回冷氢化装置，再将汽化三氯氢硅与氢气按一定比例混合引入多晶硅还原炉，在置于还原炉内棒状硅芯两端加以电压，产生高温，在高温硅芯表面，三氯氢硅被氢气还原成元素硅，并沉积在硅芯表面，逐渐生成所需规格多晶硅棒。

3.技术指标

（1）原料及辅助原料：硅粉1.08吨，氯0.25吨。

（2）生产周期：单炉72小时。

4.技术功能特性

（1）提高还原沉积反应的效率，生产周期可降至72小时。

（2）降低生产过程中原料消耗，还原装置生产1吨多晶硅所需三氯氢硅降低至45吨，消耗工业硅粉1.08吨。

（3）每千克多晶硅综合电耗：58千瓦时。

（4）改善装置的操作环境。

5.应用案例

某公司2.5万吨高纯晶硅项目，技术提供单位为华陆工程科技有限责任公司。

（1）用户用能情况简单说明：项目为新建项目。

（2）实施内容及周期：项目设计年产3万吨高纯晶硅。实施周期1.5年。

（3）节能减排效果及投资回收期：改造完成后，每千克硅综合电耗为58千瓦时，综合年节约标准煤23.8万吨，年减排CO₂ 66万吨。投资回收期2年。

6.预计到2025年行业普及率及节能减排能力

预计到2025年行业普及率可达到90%，可形成年节约标准煤450万吨，年减排CO₂ 1247.6万吨。